半导体工业的废气如何处理
半导体指的是在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的一种材料,主要应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域,在半导体工业加工的过程中将会有部分的气体排出,那半导体工业的废气有毒吗,怎么处理好?
半导体工业在加工的过程中会使用到光刻胶、蚀刻液、清洗剂、显影剂等溶剂,而这些溶剂是含有大量的有机物成分,排放出来的废气含有HCl、氨、HF等危险污染物,而主要处理的是具有挥发性的VOCs。
温馨提示:VOCs污染物为有机化合物,在浓度较高且有火花或静电情况下,极易发生闪爆现象。
半导体在制造过程中一般的污染源包括颗粒污染物、金属离子和化学物质等,而这些都是属于有害的污染物。
半导体废气处理方法根据工业废气成分进行废气处理设备的选择:
沸石转轮吸附浓缩装置:主要用于有机废气的治理, 特别适合于大风量,低浓度场合;
喷淋塔:对于含有酸性/碱性物质的废气 ,半导体厂封闭车间大都采用大型卧式洗涤塔进行废气处理。
TO直燃炉(催化燃烧装置):对大风量、低浓度的VOCs废气,TO直燃炉一般会搭配沸石转轮使用。
半导体工业废气是具有毒性的,不同的工业采用的工艺原材料不同,因此采用的废气处理设备以及工艺都是不一样的,具体的解决方案可咨询宏森环保的在线工程师。
半导体工业的废气如何处理
半导体指的是在常温下导电性能介于导体与***缘体之间的一种材料,主要应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、***功率电源转换等***域,在半导体工业加工的过程中将会有部分的气体排出,那半导体工业的废气有毒吗,怎么处理***?
半导体工业在加工的过程中会使用到光刻胶、蚀刻液、清洗剂、显影剂等溶剂,而这些溶剂是含有***量的有机物成分,排放出来的废气含有HCl、氨、HF等危险污染物,而主要处理的是具有挥发性的VOCs。
温馨提示:VOCs污染物为有机化合物,在浓度较高且有火花或静电情况下,极易发生闪爆现象。
半导体在制造过程中一般的污染源包括颗粒污染物、金属离子和化学物质等,而这些都是属于有害的污染物。
半导体废气处理方法根据工业废气成分进行废气处理设备的选择:
沸石转轮吸附浓缩装置:主要用于有机废气的治理, ***别适合于***风量,低浓度场合;
喷淋塔:对于含有酸性/碱性物质的废气 ,半导体厂封闭车间***都采用***型卧式洗涤塔进行废气处理。
TO直燃炉(催化燃烧装置):对***风量、低浓度的VOCs废气,TO直燃炉一般会搭配沸石转轮使用。
半导体工业废气是具有毒性的,不同的工业采用的工艺原材料不同,因此采用的废气处理设备以及工艺都是不一样的,具体的解决方案可咨询宏森环保的在线工程师。